Незалежно від типу конструкції СЗМ, прилад чутливий до різноманітних впливів і потребує застосування спеціальних засобів захисту або компенсації. Їх використання дозволяє підвищити роздільну здатність і точність отриманих даних.
Різні види СЗМ ви можете подивитися за посиланням - https://ilpa-tech.ru/produktsiya/zondovye-skaniruyushchie-rabochie-stantsii.
Захист від вібрацій
СЗМ є коливальною системою з великим спектром резонансних частот. Під впливом коливань можуть виникати резонансні явища, що призводять до надмірних коливань вимірювальних головок, розмиття зображення, появи паразитичних шумів.
Для захисту пристрою найчастіше використовують різноманітні віброізолятори. Вони поділяються на два типи:
- Пасивні. Мають на увазі розміщення приладу на віброізолюючій платформі. Завдяки цьому на корпус СЗМ передаватимуться тільки вібрації з частотою, що відповідає параметрам резонансу віброізолюючої конструкції. Таким чином можна ефективно запобігти впливу на прилад коливань, здатних викликати резонансні явища в головках, що сканують.
- Активні. Це системи активного придушення механічних коливань. Найпростіші різновиди будуються з урахуванням датчика вібрацій, який передає інформацію СОС. Вона посилює сигнал, інвертує та передає на п'єзоелектричні опори. Коливання опор у протифазі із зареєстрованими сенсором вібраціями дозволяють повністю їх погасити. Також на механічну стабільність скануючої головки можуть впливати звукові хвилі, що впливають безпосередньо на елементи конструкції приладу. Вони провокують непередбачувані коливання зонда у поверхні, що вивчається.
Для ослаблення акустичних перешкод використовують різноманітні ковпаки, які дозволяють послабити негативний вплив цього фактора. Так само є можливість повністю виключити вплив звуку, але для цього потрібно розмістити головку приладу у вакуумі, що не завжди можливо. від досліджуваної поверхні. Це пов'язано як із впливом температури навколишнього середовища, так і з нагріванням різних елементів СЗМ у процесі дослідження.
Нерівномірне нагрівання призводить до розширення матеріалів, хоча деформації мікроскопічні, вони помітно впливають на роботу СЗМ. Для зменшення їх впливу використовують термостатування приладу, а також вводять у конструкцію їх компенсаторні елементи. Останні складаються з набору матеріалів з різним ступенем температурного розширення, що дозволяє практично нівелювати вплив цього фактора на стабільність зонда.
Офіційним постачальником зондових скануючих станцій у Москві є компанія ІлПа Тех.
